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  • 热蒸发源

热蒸发源

  • 最高工作温度可达2 000℃,内部独特的加热丝设计保证了坩埚受热极其均匀,并使得蒸发源本身具有更突出的使用稳定性和寿命。多层线接触式钽筒隔热设计,大大降低了热辐射的比例,增加了热量的利用率,是获得极高温度的关键保证。热偶固定方式的改进使其能精确测得坩埚所在位置温度,PID控温电源,能将温度稳定性提高至0.1℃.
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安装法兰

坩埚容积CC

工作温度℃

最高除气温度℃

热偶型号

温度稳定性℃

NW38CF(2.75in)

10

80-1100

1200

K

0.1

300-1500

1600

C

0.1

1000-1800

1900

C

0.1

-2000

2100

C

0.1



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