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材料 | 纯度 | 材料 | 纯度 |
Al2O3 | 5N | Y2O3 | 4N |
ZnO | 4N | CeO2 | 4N |
Ta2O5 | 4N | SnO2 | 4N |
MgO | 4N | Ga2O3 | 4N |
TiO2 | 4N | LaNiO3 | 3.5N |
旋转AZO靶 | 4N | 旋转NbOx靶 | 4N |
平面ITO Target | 4N | 旋转AlOx靶 | 4N |
绑定ITO靶 | 4N | 旋转ZrOx靶 | 4N |
旋转ITO靶 | 4N | 旋转TiOx靶 | 4N |
LaTiO3 | 4N | Gd2Zr2O7 | 4N |
BaTiO3 | 4N | NiFe2O4 | 3.5N |
SrTiO3 | 4N | CoFe2O4 | 3.5N |
BiFeO3 | 3.5N | SrZrO3 | 4N |
YSZ | 4N | BaZrO3 | 4N |
YBCO | 4N | BaSnO3 | 4N |
La2Zr2O7 | 4N | BaxSr1-xTiO3 | 4N |
PbZrxTi1-xO3 | 4N | LaxCa1-xMnO3 | 4N |
LaxSr1-xMnO3 | 4N | LaxZn1-xMnO3 | 4N |
