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材料 | 纯度 | 材料 | 纯度 |
Al | 3N~5N | Cu | 3N7 |
Ag | 4N | Fe | 4N |
Au | 4N | Co | 3N |
Bi | 4N | Ni | 3N5 |
C | 3N | Ta | 3N5 |
Cr | 3N5 | Ti | 3N |
旋转Nb靶 | 平面Ag靶 | Sn | 5N |
旋转Cu靶 | 旋转Ag靶 | ||
旋转Ti靶 | 平面Mo靶 | ||
平面Cr靶 | 旋转Zr靶 | ||
旋转Si靶 |
